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氧化層檢測

2024-09-13 15:41:10
氧化層檢測檢測項目

厚度、折射率、深度、穿透率、機械性能、防腐蝕性能、防銹蝕性能、力學性能、硬度、強度等。

檢測標準

ASTMB487-1985(2013)用橫斷面顯微觀察法測量金屬及氧化層厚度的試驗方法

GB/T24578-2015硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

GB/T34689-2017數字印刷材料計算機直接制版版材(CTP版)氧化層單位面積質量的測定

SJ/T11507-2015集成電路用氧化層緩沖腐蝕液

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